第331章 流片成功! (6 / 14)
直到离子注入。
长安771所支援的国产离子注入机是十年前的老型号。
苏佩兰和王铁山两个老师傅在机器旁边守了一天一夜,反复调整参数。
打出来的硅片,送到显微镜下一看。
掺杂深度分布不均匀。
有的区域深了,有的区域浅了。
像一块没发好的面,有些地方鼓着,有些地方瘪着。
直接后果:芯片漏电。
测试探针扎下去,电流一路跑偏,根本锁不住。
苏佩兰试了七组参数,全部失败。
“机器太老了。”
The content is not finished, continue reading on the next page