第331章 流片成功! (5 / 14)
津门无线电二厂。
硅基产线全速开动。
这是GK-3光刻机浴火重生后的第一次实弹操演。
陈默亲自操机,手指搭在对焦旋钮上,眼睛贴着目镜。
光栅尺的数字跳动,伺服电机精准补偿每一个微米的误差。
曝光。
显影。
硅片上的线条清晰锐利,边缘笔直。
刻蚀环节,BOE槽液控温稳定在三十五度。
第一批硅片过检,沟槽完美。
陈默回头冲林希竖了个大拇指。
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