第308章 给光刻机装“眼睛” (13 / 14)
在显微镜前连续坐了七十二个小时。
左眼的视网膜就是那时候脱落的。
最后也没解决。
林希从公文包里抽出一张图纸,展开铺在行军床上。
图纸上画着一套改造方案。
XY工作台两侧,各加装一条光栅尺。
光栅尺的信号接入一块数字控制板。
控制板驱动两台微型伺服电机。
替换原有的手摇蜗轮。
“红星和长光所联合自研自产的光栅尺,分辨率1微米。”
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