第308章 给光刻机装“眼睛” (12 / 14)

        “每转一圈的真实位移都不一样。”

        他站起来，拍了拍手上的灰。

        “套刻精度要求正负5微米。”

        “这套机械传动的累积误差，最大能到8微米。”

        “所以第二层图形永远对不准第一层。”

        “废片率超过六成。”

        陈默的身体晃了一下。

        他当然知道。

        这个问题困扰了整个109会战团队两年。

        他师傅为了解决这个死区。

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