第308章 给光刻机装“眼睛” (14 / 14)

        林希用笔尖点着图纸，

        “配合闭环伺服控制。”

        “丝杠的累积误差，在每个采样周期内实时补偿。”

        他看向陈默。

        “你的机器什么都好。”

        “光学系统是王老定的方案。”

        “底座经过四年自然时效，主光路没跑偏。”

        “它就差一双眼睛。”

        “现在，我把眼睛给它装上。”

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