第332章 我们就差这张牌了！ (4 / 11)

        　　用来制作掩膜版的机器就叫多电子束写入机，它一次只能制作一块掩膜版，适用于小批量、高复杂性的图案制造需求。

        　　

        　　总结来说，没有最先进的电子束写入机，就无法制造出用于生产最先进芯片的掩膜版。

        　　

        　　它是整个半导体制造产业链的“源头”，其战略重要性，丝毫不亚于EUV光刻机本身。

        　　

        　　全球最先进的、用于EUV级别的多电子束掩膜写入机，其市场被奥地利的IMSNanofabrication公司，现已被英特尔绝对控股。

        　　

        　　另一家霓虹公司eology也在研发，但市场份额和技术应用广度上都有差距，这是东芝的子公司。

        　　

        　　国内的申海微电子旗下也有子公司在负责研发，但精度是90nm到65nm之间。

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