第332章 我们就差这张牌了! (3 / 11) 你的笔有多细,决定了你的母版有多精细。 而我们,我们国产的、最先进的电子束写入机,能稳定刻画的最小线宽,是65纳米。 用65纳米的笔,去雕刻5纳米的图案,这是不可能的。” 多电子束写入机是一种用于高精度图案转移的先进半导体制造设备,通过使用多个电子束同时在晶圆上写入图案。 梁孟松说的更常见一点的名词叫掩膜版,光透过掩膜版在硅片上印上图案,掩膜版的精度决定了硅片上集成电路的精度。 内容未完,下一页继续阅读