第四百一十七章：碳基芯片的离子掺杂 (10 / 12)

        .......

        模拟空间，化学实验室中，韩元已经完成了对石墨烯单晶晶圆的处理。

        下一步是对其进行光蚀。

        也就是所谓的光刻机加工。

        离子注入不在这一步，离子注入需要在光刻机加工完后才能进行处理。

        如果使用光刻机进行加工碳基芯片的话，其步骤和加工硅基芯片是一样的。

        第一步是制造晶圆，硅基芯片的晶圆材料是单晶硅，碳基芯片的是石墨烯单晶。

        当然，除了石墨烯单晶外，碳基芯片还可以使用碳纳米管、碳纳米球这些碳纳米材料的制备的。

        这并不冲突。

        ......

        内容未完，下一页继续阅读