第一百八十五章:N-漂移层 (5 / 7)
一次渗透碳原子的DPA损伤只有18.3,这怎么可能?
哪怕是风车国那边最先进的离子注入,碳化硅晶材中的碳原子损伤也会达到三位数以上。
更关键的是,这种方式二次渗透的都只有低两位数的DPA损伤。
这是上帝才能做到事情。
这样低的渗透损伤率,如果应用到芯片的制造上.......。
实验室的中年组长已经不敢再想下去了。
正如华国京城某间实验室中一样,这样的场景不断重复在世界各地中。
模拟空间中,一下午的时间很快就过去了。
经历过整整六次的渗透处理后,太阳也下山了。
但今天的直播到现在还不能停下。
渗透处理过后的碳化硅晶材需要更进一步处理,将刚注入的铝离子稳定下来,形成可用的N-漂移层。
内容未完,下一页继续阅读