第一卷 第285章 暗影潜伏 (2 / 12)

        嗡——！

        旋涂机的真空吸盘死死锁住晶圆，主轴开始高速旋转，发出平稳的低鸣。

        金黄色的胶体在离心力的作用下，如同一层完美的薄膜，迅速向晶圆四周铺展开来。

        李副部长和几名核心专家屏住呼吸，死死盯着上方悬挂的激光平整度检测仪。

        红色的扫描光束在晶圆表面来回穿梭。

        滴！

        大屏上的数据疯狂跳动，最终死死卡在一个数字上。

        0.05微米。

        “不行！”

        技术组长急得满头大汗，一拳砸在金属护栏上。

        “误差卡在0.05微米下不去了！这个平整度根本达不到EUV光源的点火标准！”

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