第一卷 第283章 首块晶圆的诞生 (10 / 12)
周围刚准备鼓掌的技术员们集体僵住,脸上的喜色瞬间凝固。
李副部长急忙凑上来,声音发紧。
“程工,哪里不对?”
“平整度。”
程美丽指着托盘里的那堆晶圆,语气冷得掉冰渣。
“你们现在用的涂层工艺,药液分布存在明显的厚度落差。”
她竖起一根手指。
“0.1微米的平整度误差。”
“这种表面,只要上了光刻机,光线一照就会产生衍射畸变。”
“刻出来的电路不仅会短路,还会直接烧穿底板。”
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