第332章 我们就差这张牌了! (7 / 11)
“羲之和传统的光刻机不同。”杨院士接着说道:“它不需要掩膜版,而是通过计算机控制,用一道能量极高的、被聚焦到极致的电子束,直接在硅基材料上书写电路。
因此,它可以随时修改设计,反复调试,特别适合芯片研发初期的验证,以及制造像超构透镜母版这样、独一无二的超高精度元件。”
最后杨院士深吸了一口气,报出了那两个让所有人屏息的数字:“它的性能指标,最小稳定线宽为8纳米,电子束定位精度为0.6纳米。”
“这不可能!定位精度0.6纳米?这精度是不是太夸张了?”
“0.6纳米?比老美的精度还要更高?”
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