第327章 风起华盛顿 (3 / 12)

        　　

        　　陈磊博士：“骨骼，我指的是它的超精密工件台系统。”他指向图纸的底座部分。“NIL是接触式光刻，每一次对准和移动，对工件台的平顺性、稳定性和定位精度的要求，比我们想象的还要苛刻。

        　　

        　　佳能毕竟是光学和精密仪器巨头，他们在运动控制、减震和材料学上的积累非常深厚。

        　　

        　　我们的光刻机现在最大的瓶颈之一，就是工件台在高速运动下的稳定性和套刻精度。

        　　

        　　如果我们能彻底摸清佳能这套系统的设计逻辑、控制算法和驱动方式，哪怕只是学到七成，我们的套刻精度指标至少能再提升50%。

        　　

        　　这是我根据公开资料的猜测，具体多少，要等到我们把佳能的技术融入到我们的工艺之后才能有更进一步的具体判断。”

        　　

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