第326章 出题与解题 (7 / 14)

        　　

        　　更可怕的是，这个颗粒可能会污染模板，让模板本身成为一个污染源，在后续的每一片晶圆上，不断地、重复地复制这个缺陷。

        　　

        　　这不是一个点的问题，而是一条线的、一个面的灾难。

        　　

        　　我们称之为DefectPropagation，缺陷传播。

        　　

        　　在德州电子研究所，我们曾经有一个项目，就是因为一次微小的污染，导致连续报废了13片晶圆，直接损失超过80万美元。

        　　

        　　佳能的解决方案是什么？加强清洁，实时检测。

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