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    第326章 出题与解题 (5 / 14)

          

          这个词一出口,就引起了一阵小小的骚动。

          

          中芯国际的代表梁孟松显然对缺陷这个词很敏感,他马上皱起了眉头。

          

          陈磊伸出一根手指,语气变得无比严肃:“传统的光刻,无论是DUV还是EUV,都是非接触式的。

          

          这点在座各位我相信都非常清楚。

          

          光穿过掩膜版,投射在晶圆上。

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