第326章 出题与解题 (5 / 14) 这个词一出口,就引起了一阵小小的骚动。 中芯国际的代表梁孟松显然对缺陷这个词很敏感,他马上皱起了眉头。 陈磊伸出一根手指,语气变得无比严肃:“传统的光刻,无论是DUV还是EUV,都是非接触式的。 这点在座各位我相信都非常清楚。 光穿过掩膜版,投射在晶圆上。 内容未完,下一页继续阅读