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    第326章 出题与解题 (11 / 14)

          

          一位随行的技术官员忍不住开口问道:“陈博士,那套刻精度呢?佳能展示的数据,他们的层间对准精度非常高。”

          

          陈磊看向他,摇了摇头:“这正是接下来要说的第三个陷阱,累积误差。

          

          是的,在少数几层的迭加中,NIL的套刻精度看起来很美。

          

          但逻辑芯片的制造,动辄需要几十上百层的迭加。

          

          NIL是物理接触,每一次压印和脱模,都会在晶圆上产生微米级的应力形变和热量变化。

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