第378章 曲令颐：没有？那我们就自己造！ (4 / 6)

        “陆工，您的磁流体复合轴承，是骨骼。”

        她在透镜组下面，画了一个稳定而坚固的平台。

        “陈默，你的光刻胶，是血肉。”

        她在平台上方，画了一片薄薄的涂层。

        “灵魂、骨骼、血肉，缺一不可。你们争论的不是谁对谁错，而是如何让三者完美地融为一体。”

        她的粉笔在黑板上飞舞，将三个人的设计图用一种所有人都没想过的方式，重新组合了起来。

        “方老，陆工的磁场问题，我们可以通过设计一个μ金属屏蔽罩来解决。同时，您的物镜组最后一级，可以不采用胶合，而是采用空气隙设计，这样可以减少应力，并且方便我们加入偏振校正镜片。”

        “陆工，方老对光路的要求是刚性的。所以，您的磁悬浮平台可以不变，但承载硅片的晶圆台，我们必须增加一套基于压电陶瓷的微动位移系统，用它来主动补偿剩余的微震动。”

        “陈默，你的光刻胶波长要求，给了我们一个明确的目标。我们会以此为基准，去寻找最合适的高压汞灯光源，并请方老重新计算镀膜参数。”

        “一个系统，需要一个总设计师。”

        “我的工作，就是让你们每一个人的天才想法，都能在这个系统里，发挥出最大的价值。”

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