第21章:联合实验室的第一次危机 (4 / 8)
“在这个圈子里,防备心能救命。”沈清合上电脑,起身往超净间走去。
然而,哪怕沈清已经足够谨慎,麻烦还是如约而至。
第一轮中试流片的结果出来了。沈清盯着屏幕上那一串惨不忍睹的数据,脸色阴沉得能滴出水来。
“成品率只有52%?”程旭阳惊叫出声,“这不对啊!沈妹子,咱们在小实验室里跑的数据,良率明明一直稳定在70%以上。”
沈清没说话,她一张张翻阅着各环节的记录表。
二硫化钼的成核非常脆弱,任何一个环节的微小扰动都会导致大面积的缺陷。她开始逐项排查,从气流量、温度曲线一直查到基底的预处理。
“吴学长,这一批铜箔基底的预处理是你盯着的?”沈清拿着数据单,找到了正在整理样品的吴文凯。
吴文凯愣了一下,放下手里的镊子,凑过来仔细看了看:“对,是我。有什么问题吗?”
“超声波清洗的功率,为什么比手册上调高了5%?”沈清指着记录本上一个几乎不容易被察觉的修改痕迹,声音冷得不带一丝温度。
吴文凯显得有些局促,他推了推眼镜,语气诚恳:“哦,这个啊。是因为这批新到的铜箔表面氧化层比之前的要厚一点点,我试了一下,按照原参数洗不干净,可能会影响后续生长的结合力。所以我自作主张做了现场调整,本想在汇总报告里再标注的,还没来得及……”
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