第440章 光波没有摩擦力 (2 / 11)

        三年前，江俊站在林希面前时，背是塌的，手里攥着女儿的病历。

        现在，他白大褂袖口卷到小臂，资料册夹在胳膊下，开口第一句就是工艺参数。

        “光刻机要升级到1.5微米制程，光有镜头不够。”

        江俊翻开工艺资料册，指着设计图上的对齐位。

        “1.5微米线宽，上下层对齐的套刻精度，最多只能容忍300纳米误差。”

        他手指敲了敲图纸。

        “也就是说，我们的尺子，得能量出几十纳米级别的微小位移。”

        江俊合上资料，语气很沉。

        “三年前搞出来的1微米精度光栅尺，已经不够用了。”

        林希点了点头。

        他很清楚，在1984年，测量工具的精度落后，就是卡死芯片制程的物理天堑。

  The content is not finished, continue reading on the next page