第337章 42%的良率与早期失效 (13 / 13)

        底层走线在特定区域出现了微米级的粘连。

        两根本该平行的金属走线，在某处无缘无故地并到了一起。

        短路。

        “曝光不均匀。”

        司徒渊直起腰，摘下金丝边眼镜揉了揉眼眶。

        他走到GK-3光刻机旁边，查了一遍机器的运行日志。

        “曝光时间设定是准的，陈默的操控也没问题。”

        他皱着眉，看着日志上一串正常的数字。

        “那问题出在哪？”张秉谦问。

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