第309章 手测参数注入数控大脑 (12 / 13)
他把问题原原本本地说了一遍。
弹幕沉默了十几秒。
然后一个ID冒了出来:【材料狗不睡觉】。
【别用纯HF。】
【现在的光刻胶耐酸性差,纯氢氟酸刻蚀速率太快,根本控不住侧向钻蚀。】
紧接着,第二条弹幕:
【加NH4F做缓冲剂。氟化铵和氢氟酸的摩尔比6:1,槽液温度锁死35度。这个配方叫BOE,缓冲氧化物刻蚀液。】
第三条:
【关键点:35度恒温。温度每波动1度,刻蚀速率变化8%。你们没有恒温槽的话,用水浴锅套着不锈钢槽,温度计插在水浴里,人工盯着。】
第四条,另一个ID【半导体搬砖人】:
The content is not finished, continue reading on the next page