第四百六十四章：超精密抛光 (12 / 13)

        对于一台抛光机来说，它的核心器件是“磨盘”。

        超精密抛光对抛光机中磨盘的材料构成和技术要求可以说是异常苛刻。

        这种苛刻能比的上顶级的纳米光刻机。

        因为它不仅要满足自动化操作的纳米级精密度，更要具备精确的热膨胀系数。

        热膨胀系数才是影响抛光机精密的主要原因。

        因为当抛光机处在高速运转状态时，高速运转的摩擦会产生大量的热，一旦热作用于磨盘上，制造磨盘的材料会膨胀。

        如果热膨胀作用导致磨盘的热变形，基片的平面度和平行度就无法保证。

        而这种不能被允许发生的热变形误差不是几毫米或几微米，而是几纳米。

        在他之前，各国无法制造出低纳米级抛光机的主要原因也就在此。

        用什么材料和工艺才能合成这种热膨胀率低、耐磨度高、研磨面超精密的磨盘，才是关键。

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