第四百一十一章:适用于碳基芯片的光刻胶 (4 / 11)
“这是用于碳基芯片加工的光刻机图纸的一部分。”
图纸铺开,韩元说道:“和加工硅基芯片有些不同,加工碳基芯片的光刻机在零配件上有一些调整,调整的部分主要是光源部分以及透镜部分。”
“这两大模块做了一定的修改,以便适应于碳基芯片的光蚀。”
“比如修改后的光刻机的光源,虽然还是使用的极紫外光,但它采用一种叫做‘离轴照明’技术。”
“和原先的硅基芯片光刻机相比,这种‘离轴照明’技术可以在一定程度上提高分辨率、可以提升焦深、可以提高对比度等等。”
“更适合碳基芯片的光蚀。”
说着,韩元从打开的卷纸中找到了对应的图纸,平铺在桌上,展示给直播间里面的观众看。
【好了,现在我已经知道镜片如何成像了,我可以试着造出一台光刻机了(?????)】
【别展示了,赶紧弄吧,反正你展示出来我们也看不懂。】
【主播这个造出来,估计是史上最贵的透镜。】
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