第四百一十一章：适用于碳基芯片的光刻胶 (1 / 11)

        石墨烯单晶材料完成，韩元通过特殊的手段将这块石墨烯单晶材料切割成了大小合适的晶圆并保存了起来。

        这些晶圆后续经过处理后，可以用于制造碳基芯片，他自然不会扔掉。

        石墨烯单晶材料完成制备，花费了一些时间，韩元将制备碳基芯片需要的碳纳米管材料、高纯度碳化硅晶材等材料一起制造了出来。

        制造碳基芯片的一系列的基础原材料都处理好制备出来后，接下里的工作自然是制造各种需要的设备了。

        其中就有关键的光刻机和光刻胶。

        ......

        碳基芯片和硅基芯片不同又相同。

        不同的是碳基芯片在中低端芯片上的处理可以不使用光刻机处理。

        通过一些特殊的手段,比如激光蚀刻、化学气相沉积等方法就可以在芯片内部构建出一个个的晶体管。

        但这些特殊方式的局限性都很大，在精度方面都有上限。

        比如激光蚀刻法在晶圆上蚀刻电路的精度极限就是微米级，要在降低的话，使用这种方法就容易烧穿晶圆电路中的栅极和沟道，进而导致芯片报废。

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