第二百七十九章:想弄死韩元的米国 (4 / 12)
但普通打磨镜面的反射率还不够高,需要复式镜面设计。
也就是可以将多层的反射集中成单一反射的‘布拉格反射器’。
而目前的人类制造出来的‘布拉格反射器’每一次反射极紫外光光源都会损失三成左右的光线能量。
但一台EUV光刻机得经过十几面反射镜,才能将极紫外光从光源一路引导到晶圆上。
到最后,能用于雕刻的光源,大概只能剩下不到百分之二的光线。
这也是光源激发器的为什么需要超大功率的原因。
毕竟在传播途径中就损失了绝大部分的光线,到最后刻蚀到晶圆上的光线能级压根就不够。
如果能降低光能反射损失率,哪怕是一个点,对于极紫外光源的强度要求就会下降好几个点。
更别提百分之十甚至是百分之二十的损失率降低了。
特别是华国的光学专家和专门研究光刻机突破的实验室及研究所,一个个的呼吸瞬间都沉重了起来。
如果真如这名主播说的,能降低百分之二十,不,甚至只需要百分之十。
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