第二百七十八章：打破米国的垄断 (8 / 13)

        应用顶级的短波极紫外光的光刻机，也就是EUV光刻机，它离轴反射系统有它非常独特的难点，这不是一般的投射镜片加工方式能做到的。

        比如说其中的难点之一：‘离轴高精度非球面加工’。

        如果按照轴对称非球面加工，这个系统的口径会超级大，最大可到540mm口径，加工难度可见一斑。

        而这仅仅还是轴对称加工，轴对称加工完成后可以再磨外缘到离轴镜片状态，这样可保证加工和测试精度。

        而应用于顶级EUV上的离轴高精度非球面加工在此基础上又做了一次难度相当大的升级。

        如按照单片离轴非球面镜片加工，镜片尺寸基本为实际尺寸，那么结果会比补全轴对称尺寸小了很多。

        但离轴非球面镜片量测又是个大问题。

        除此之外，离轴非球面系统装配也是个超级难点。

        不比DUV光刻机，DUV的轴对称系统装配有比较好的量测设备支持，所以很多国家都能研发两位数纳米级的光刻机。

        但当轴对称过渡到离轴非球面装配时，由于顶点位置已经失去，定心会非常困难。

        内容未完，下一页继续阅读