第二百七十六章:激光武器的光源 (12 / 13)
没理会直播间里面的观众,韩元开始继续处理光刻机的其他零件。
从开始制造光刻机到现在,各种零件的制备和检测,又是接近一个月的时间过去了。
留给他的时间越来越少了。
处理完光源,第二个处理的是光镜。
这是光刻机光源系统中的一环,和光源激发一样异常重要。
当然,这是对于顶级的极紫外光来说的。
十纳米波长的极紫外光非常容易被任何物体吸收,即便是顶级的高透光玻璃,也会吸收。
所以光刻机里面的光镜不能使用玻璃透镜,必须使用反光镜。
另外,普通的镜面也达不到反射所有光波的效果,光刻机这里需要使用的,是一种特殊的反光镜。
“布拉格反射器”
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