第二百八十六章:留给华国的第二个惊喜 (8 / 10)
前面五个步骤耗时都比较短,但第六步让单晶硅在牺牲层上方形成是比较消耗时间的。
按照他目前设置的牺牲层和需要生成的厚度,最少需要六个小时以上。
需要生成的厚度越高,对应的时间也会越长。
当然,这并不算‘化学气相沉积-硅核心外延法’的缺点,只能说是耗时较长而已。
就算是单晶炉直拉法,冶炼出他需要的单晶硅,消耗的时间也需要五个小时以上。
但别忘了,‘化学气相沉积-硅核心外延法’生成单晶硅是可以通过计算机进行批量控制生产的。
特别是在第六步的时候,以硅烷气体为核心的外延法,只需要控制住硅烷气体的输入速度就可以了。
这一步完全不需要人工看管。
不过这是建立在有计算机智能程序看管的基础上,就韩元现在,他还是离不开人工看管。
耗费了六个多小时,从下午忙碌到夜晚八点多,制备仪器中的单晶硅才延伸到他需要的厚度。
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