第二百七十二章:十纳米级的碳基芯片? (4 / 12)
就比如风车国的AMSL公司,这家全球最顶尖的光刻机生产公司,他们生产的光刻机,其配件来自世界各地。
而其中的关键,雕刻用的刀具就来自米国的光源、日耳曼国的镜头和机械技术。
就拿光刻机中的反射镜来说,如果反射镜的面积放到到整个日耳曼国那么大,那么最高凸起不能超过一厘米。
其镜片的打磨难度可想而知有多大。
但这些东西只有做到了真正意义上的顶尖,才符合制造顶尖光刻机的要求。
其他国家根本就没有能力去生产这些顶级的东西。
而然即便是这样,目前世界上顶级光源在精度上也没法超过两纳米。
因为光源的波长限制了。
目前米国提供给AMSL公司的光源是极紫外光,也是最先进的‘EUV光刻机’上使用的光源。
这种光源的波长能控制到十纳米,已经是极限了。
不过利用平滑衍射效应、光强调节等复杂的曝光控制系统,它能对低于十纳米的曝光区域进行曝光雕刻处理。
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