第二百一十章：震惊世界的技术 (2 / 6)

        这个问的问题很是专业，也很有意思。

        韩元想了想，回道：“通过‘电离-金属离子注入-高反射宽波段镀层阵’注入金属离子后的确可以对高能紫外光进行控制波长。”

        “理论上来说，可以做到pm级别。”

        “当然，那不是化学侵蚀法能做到的，需要精密度极高的高能离子注入机。”

        听到韩元的回道，某光刻机光源研究实验室的中年男子呼吸顿时急促起来，脸色潮红，瞳孔剧缩，整个身体都在微微颤抖，仿佛随时会猝死一般。

        深呼吸几下后，中年男子强迫自己冷静下来，颤颤巍巍的伸手拿起一旁的专线电话打了个电话，迅速的说了几句后，回过来头紧紧的盯着投影上的直播。

        “如果这要可以实现，这个人一定要找到！”

        pm级别的高能紫外光控制，这代表了什么他再清楚不过了。

        哪怕是ASML公司使用的极紫外光（EUV），其波长也在十纳米以上。

        这个长度波长的极紫外光，可以用来加工五纳米的芯片。

        但要再往下压缩，光源的问题必须要得到解决，也就说，光源的波长必须要再进一步缩短。

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